- lithographie par faisceau d'électrons litografiezh gant ur bann elektronoù gw.
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physique , nanotechnologie ◊ reproduction du motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impressionanglais : electron beam lithography / EBL / e-beam lithography
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Dictionnaire breton des sciences et des techniques
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