Dictionnaire breton des sciences et des techniques

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lithographie par projection de faisceau d'électrons litografiezh gant ur bann elektronoù gw.: physique , nanotechnologie ◊ technique où un faisceau d'électrons, généralement dirigé par un système de lentilles électromagnétiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible

anglais : electron beam projection lithography / electron projection lithography / EPL