- litografiezh gant ur bann elektronoù gw. lithographie par faisceau d'électrons
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physique , nanotechnologie ◊ reproduction du motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impressionanglais : electron beam lithography / EBL / e-beam lithography
- litografiezh gant ur bann elektronoù gw. lithographie par projection de faisceau d'électrons
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physique , nanotechnologie ◊ technique où un faisceau d'électrons, généralement dirigé par un système de lentilles électromagnétiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensibleanglais : electron beam projection lithography / electron projection lithography / EPL