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Dictionnaire breton des sciences et des techniques

KREIZENN AR GERIAOUIÑ

Geriadur Klok Klasket a-raok / Previous search bannenn
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litografiezh gant ur bann ionoù gw. lithographie par projection d'ions
physique nanotechnologie ◊ technique où un faisceau d'ions, généralement dirigé par un système de lentilles électrostatiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible
anglais : ion beam projection lithography / ion projection lithography / IPL
litografiezh gant ur bann ionoù fokuset gw. lithographie par faisceau d'ions focalisé
physique nanotechnologie ◊ reproduction du motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible au moyen d'un faisceau d'ions généralement dirigé par un système de lentilles électrostatiques
anglais : focused ion beam lithography / FIBL / FIB lithography