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Dictionnaire breton des sciences et des techniques

KREIZENN AR GERIAOUIÑ

Geriadur Klok Klasket a-raok / Previous search gantenn
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litografiezh gant ur bann elektronoù gw. lithographie par faisceau d'électrons
physique nanotechnologie ◊ reproduction du motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impression
anglais : electron beam lithography / EBL / e-beam lithography
litografiezh gant ur bann elektronoù gw. lithographie par projection de faisceau d'électrons
physique nanotechnologie ◊ technique où un faisceau d'électrons, généralement dirigé par un système de lentilles électromagnétiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible
anglais : electron beam projection lithography / electron projection lithography / EPL