Dictionnaire breton des sciences et des techniques

KREIZENN AR GERIAOUIÑ

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litografiezh gant skinoù UV tre gw. lithographie par ultraviolets extrêmes: physique , nanotechnologie ◊ utilisation de rayons UV de 10 à 14 nm pour reproduire le motif d'une structure nanométrique dans une résine sensible, vers laquelle ils sont dirigés à travers un masque par un système de miroirs

anglais : extreme ultraviolet lithography / extreme UV lithography / EUV lithography