Dictionnaire breton des sciences et des techniques

KREIZENN AR GERIAOUIÑ

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dépôt chimique en phase vapeur diloaiadur kimiek er fazenn aezhenn g.: physique , chimie ◊ procédé qui permet de déposer par épitaxie des films de matières solides à la surface d'un substrat durant la phase vapeur d'une réaction chimique contrôlée

anglais : chemical vapor deposition / CVD / chemical gas phase deposition